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반도체 제조공정 장비와 요소기술의 이해
반도체 제조공정 장비와 요소기술의 이해
Detailed Information
- 자료유형
-
단행본
- ISBN
- 9791156006091 93560
- KDC
- 569.4-6
- 청구기호
- 569.4 ㄱ683ㅂ
- 서명/저자
- 반도체 제조공정 장비와 요소기술의 이해 / 김기현 [외]지음
- 발행사항
- 서울 : 홍릉과학, 2018
- 형태사항
- vii, 417 p. : 삽화, 도표 ; 24 cm
- 주기사항
- 공저자: 오찬권, 허헌, 전배근
- 주기사항
- 권말부록: 주요 반도체 기업 및 제품
- 서지주기
- 참고문헌(p. 416-417) 수록
- 기타저자
- 김기현
- 기타저자
- 오찬권
- 기타저자
- 허헌
- 기타저자
- 전배근
- 가격
- \25,000
- Control Number
- hycl:122118
MARC
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